【編號】2012-40
　　【題名】基于PVDF掃描測頭的電路系統構建及性能測試
　　【作者】魏晉鵬, 李志渤, 黃強先
　　【機構】合肥工業大學儀器科學與光電工程學院
　　【刊名】儀表技術與傳感器2012年10期
　　【文摘】一種采用PVDF薄膜和壓電傳感器結合鎢探針構成的新型掃描測頭可以對柔軟易損壞及具有大臺階特征的表面實現高精度非破壞性測量.基于該新型測頭構建了硬件電路系統,并通過相關試驗測試了系統特性.試驗結果證明:該掃描測頭在垂直方向上可實現亞納米級的分辨率。