【編號】2016-66
　　【題名】基于PVDF的柔性壓力傳感器陣列的制備及仿真研究
　　【作者】盧凱，黃文，劉思祎等
　　【機構】電子科技大學 電子薄膜與集成器件國家重點實驗室；清華大學 工程力學系
　　【刊名】電子元件與材料（2016年03期）
　　【文摘】采用濕法刻蝕制備了基于PVDF薄膜的柔性4×4壓力傳感器陣列，該傳感器具有16個毫米尺寸的電容器單元。使用光學顯微鏡、原子力顯微鏡觀測了傳感器表面形貌，顯示電極陣列的界面清晰，PVDF薄膜表面形貌平整。力電耦合效應測試的結果顯示傳感器的應力輸入和電壓輸出具備高的信噪比和良好的線性關系，力電響應為12×10–3V/kPa。受力-空載響應輸出顯示，對傳感器施加20~80kPa范圍的脈沖壓力，得到了輸出0.26~0.98 V的電壓信號，并且放電時間少于2.5ms。結合仿真計算研究了傳感器陣列之間的電勢信號影響，結果表明相鄰陣列單元間的信號干擾隨著陣列所受壓力增加而增加并且呈現線性關系，干擾信號為0.028×10–3V/kPa，在1.4mm2尺寸時，低于178kPa壓力所產生的干擾信號可以近似忽略。