【編號】2019-67
　　【題名】基于PVDF的高壓電性薄膜制備工藝研究
　　【作者】陳寶成, 覃雙, 張旭, 孫權, 張鵬
　　【機構】中國電子科技集團公司第四十九研究所；中國工程物理研究院流體物理研究所
　　【刊名】傳感器與微系統（2019年10期）
　　【文摘】針對國內的聚偏二氟乙烯(PVDF)壓電傳感器僅限于實驗室階段,仍需要大量進口的現狀,通過對PVDF壓電特性分析,結合傳感器產品的結構,進行PVDF壓電傳感器的制備工藝的研究.對工藝過程中的初始薄膜制備、單軸拉伸、高壓極化和磁控濺射等主要工藝進行制備工藝參數的探索,獲得了PVDF壓電敏感薄膜,并采用聚酰亞胺材料進行封裝,得到PVDF壓電傳感器.對該傳感器進行關鍵參數靜態壓電系數d33的測試,結果為13.1PC/N,獲得了滿足實際工程使用的PVDF壓電傳感器產品.