【名稱】以聚四氟乙烯為添加劑燃燒合成氮化硅粉體的方法

【摘要】本發明屬于非氧化物超細氮化硅粉體的制備技術領域，特別涉及在無氮化硅稀釋劑時利用聚四氟乙烯作添加劑燃燒合成氮化硅粉體的方法。以硅粉、銨鹽或含氮化合物和聚四氟乙烯為原料，按不同的組分配比配制成反應混合料，經短時間研磨混合后，將混合物料裝于密閉的耐高溫容器中，松裝密度為0.8～2.0g/cm3；反應裝置抽真空后充入氮氣、氨氣等，使燃燒合成反應裝置的氣體壓力控制在5MPa之內，產物經過細磨處理后可以得到均質的氮化硅粉體，其α相含量為60～80％。本發明實現了硅粉在無氮化硅稀釋劑條件下燃燒合成氮化硅，突破了傳統燃燒合成氮化硅工藝必須添加大量氮化硅稀釋劑的限制。本發明的方法提高了產品凈產率，降低了成本。