【名稱】一種具有微結構的聚偏氟乙烯壓電薄膜的制備方法

【摘要】本發明屬于微納制造領域，涉及具有微結構的壓電薄膜的制備方法：1)在基底上濺射絕緣隔離層，在絕緣隔離層上濺射電極層；2)將聚偏氟乙烯PVDF及其共聚物粉末作為溶質，溶解至混合溶液中，攪拌后，置于真空，密封放置；3)將聚合物溶液旋涂于電極層上，得到聚合物層；4)把旋涂好聚合物溶液的基底放置在熱壓印臺上，將模具壓向聚合物層的表面，將模具型腔抽真空，使聚合物層充滿模具的型腔；5)在電極層和模具之間施加場電壓；6)撤去電場后，控制壓印頭壓向聚合物層，保持壓力，降溫至80℃，退火處理，得到具有微結構的壓電薄膜。本發明用于微傳感器和致動器的制造，尤其適宜于生物醫療方面的微傳感器和致動器的制造。