【編號】2011-48
　　【名稱】聚四氟乙烯清洗花籃改良結構
　　【申請(專利權)人】 中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所
　　【公開(公告)日】 2011.08.03
　　【公開(公告)號】CN201913087U
　　【摘要】 本實用新型涉及一種應用于半導體清洗工藝中的聚四氟乙烯清洗花籃改良結構，其包括把手和一個以上花籃本體，所述把手上設置一個以上卡槽，所述花籃本體的一側部設置可與所述卡槽緊密插接配合的突出部。所述卡槽優選采用T型卡槽。所述花籃本體上端面上分布二個以上可以容置硅片的淺槽。所述淺槽的槽底部設置復數個豎直通孔。本實用新型在保有現有聚四氟乙烯清洗花籃各種優點的同時，還可用于同時清洗多品種、多規格的多片小片，且其底部設置的通孔還提高了清洗的效率，再者，利用卡槽，尤其是T型卡槽固定花籃本體和把手，使得清洗花籃更加堅固耐用，且便于安裝拆卸，并使得清洗花籃還易于運輸和收儲。