【編號】2013-52
　　【名稱】一種帶有保護氣體大氣等離子體發生裝置
　　【公開（公告）號】CN103237406A
　　【公開（公告）日期】2013.08.07
　　【申請（專利權）人】哈爾濱工業大學
　　【摘要】一種帶有保護氣體大氣等離子體發生裝置，它屬于等離子體加工光學零件的技術領域。它為了解決目前大氣等離子體加工過程中存在的表面沉積問題。它的第一圓環形聚四氟乙烯定位套套接在中空管電極上部的外圓面上，地電極上部套接在第一圓環形聚四氟乙烯定位套的外圓面上，第二圓環形聚四氟乙烯定位套套接在射頻線接頭外表面上，第二圓環形聚四氟乙烯定位套穿過地電極側面的孔后露出一段，射頻線接頭的另一端為射頻電源的陽極接線端，帶孔圓環形聚四氟乙烯定位套套接在中空管電極下部的外圓面上，中空管電極的下端設置在錐形噴嘴內部。本發明能在激發的大氣等離子體周圍形成保護層，防止大氣等離子體中原子團與空氣中雜質結合發生復合。