【編號】2017-99　　

【名稱】一種基于PVDF壓電薄膜的雙向無閥微流泵及其制備方法                                　　

【公開（公告）號】CN107178488A 　　

【公開（公告）日期】2017.09.19　　

【申請（專利權）人】西安交通大學                                　　

【摘要】本發明公開了一種基于PVDF壓電薄膜的雙向無閥微流泵及其制備方法，包括自上到下依次固定連接的蓋板、PVDF壓電薄膜、通道層及基板，其中，PVDF壓電薄膜的上表面及下表面均設有若干導電膜區，各導電膜區均包括工作區電極及用于將工作區電極與外界電壓源相連接的導通區電極，且PVDF壓電薄膜上表面上的一個工作區電極正對PVDF壓電薄膜下表面上的一個工作區電極，蓋板上開設有通孔，通道層上開設有流體通道及兩個儲液池，其中，流體通道的兩端分別與兩個儲液池相連通，且PVDF壓電薄膜上表面上的各工作區電極正對所述通孔及所述流體通道，儲液池與外界液體源相連通，該微流泵能夠實現無閥雙向驅動，切換較為簡單，并且制備方法易于實現。