【編號】2020-71
　　【名稱】一種PFA清洗花籃
      【公開（公告）號】CN210640198U
　　【公開（公告）日期】2020.05.29
　　【申請（專利權）人】深圳市邁捷微科技有限公司
       【摘要】本實用新型屬于半導體晶片清洗裝置技術領域，具體為一種PFA清洗花籃，包括第一側板、第二側板、以及設置在第一側板和第二側板之間的第一槽齒板和第二槽齒板，第一槽齒板包括第一豎直部、傾斜部和第二豎直部，第一豎直部和傾斜部上設有若干等間距的容置槽，第一豎直部和傾斜部的連接處設有橫筋，第一豎直部外側面的中間部位設有八字形連接骨，八字形連接骨位于容置槽內，相鄰兩個八字形連接骨交錯設置，形成上下兩排八字形連接骨。本實用新型解決了現有花籃強度低，易破碎的問題，而且通過在結構上進行改進，使得液體在清洗空間內的流動性更好，通風性更好，達到較好的清洗半導體的目的。