【編號】2022-58

【名稱】一種超低表面粗糙度的高壓電響應PVDF超薄膜及其制備方法

【公開（公告）號】CN114864807A 

【公開（公告）日期】2022.08.05

【申請（專利權）人】清華大學

【摘要】本發明公開了一種超低表面粗糙度的高壓電響應PVDF超薄膜及其制備方法，屬于有機聚合物類超薄膜的制備技術領域。本發明提供的PVDF超薄膜的制備方法，包括如下步驟：(1)采用Langmuir–Blodgett單分子沉積技術制備PVDF薄膜；(2)采用水平Langmuir–Blodgett方法將所述PVDF薄膜轉移至表面鍍金屬的硅基片上；(3)將純硅基片覆蓋在步驟(2)得到的薄膜上，進行熱壓退火處理，即得到PVDF超薄膜。本發明的制備方法簡便高效，可制備出具有原子級平整表面的超薄有機鐵電薄膜，同時實現薄膜厚度的精準調控和壓電性能的提高。